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WA 系列是高纯度的氧化铝微粉，在严格的粒度分布控制下，分为 21 级自 57 微米至 0.3 微米。普遍运用于研磨低抗张强度的半导体材料与金属材料上。
Quality Standards

Type

Particle Size

Specific Gravity

Chemical Composition (%)

A1203

SiO2

Fe2O3

TiO2

ZrO2

WA

#240-#3000

3.75 or more

99.0 or more

0.3 or less

0.1 or less

--

0.5 or less

#4000-#30000

3.85 or more

96.0 or more

1.2 or less

0.2 or less

--

0.7 or less

Standard Specification for Particle Size
Particle
size
Particle distribution(μm)
Packaging
Maximum particle size in(μm)
Particle size at 3% point
Particle size at 50% point
Particle size at 94% point
Standard
Bag(kg)
Vinyl lined Net weight (kg)
# 240
127 or less
103 or less
57.0 ± 3.0
40 or more
5
5
20
# 280
112
87
48.0 ± 3.0
33
5
5
20
# 320
98
74
40.0 ± 2.5
27
5
5
20
# 360
86
66
35.0 ± 2.0
23
5
5
20
# 400
75
58
30.0 ± 2.0
20
5
5
20
# 500
63
50
25.0 ± 2.0
16
5
5
20
#600
53
43
20.0 ± 1.5
13
5
5
20
#700
45
37
17.0 ± 1.3
11
4
4
20
# 800
38
31
14.0 ± 1.0
9.0
4
4
20
# 1000
32
27
11.5 ± 1.0
7.0
4
4
20
# 1200
27
23
9.5 ± 0.8
5.5
4
4
20
# 1500
23
20
8.0 ± 0.6
4.5
4
4
20
#2000
19
17
6.7 ± 0.6
4.0
4
3
20
# 2500
16
14
5.5 ± 0.5
3.0
3
3
20
# 3000
13
11
4.0 ± 0.5
2.0
3
3
20
# 4000
11
8.0
3.0 ± 0.4
1.3
3
3
20
# 6000
8.0
5.0
2.0 ± 0.4
0.8
3
20
# 8000
6.0
3.5
1.2 ± 0.3
0.6(1)
2
20
#10000
0.60
2
10
#20000
0.45
1
#30000
0.30
1
(Note1) :Particle size at 75% point(dv-75 value)
※ Particle size is measured by Electrical sensing zone methods
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